電子元器件生產(chǎn)產(chǎn)生的廢氣可以用何廢氣治理設(shè)備？
電子元件是電子工業(yè)的基礎(chǔ)，其產(chǎn)品-般包括電容器、電阻、電位器、電連接元件、控制元件，以及敏感元件和傳感器等，電子元件產(chǎn)品具有種類多、生產(chǎn)工藝差別大，生產(chǎn)線更新變化快的特點，加工工藝-般涉及機械、化工、熱加工或配制等多種工藝的組合。在電子元件制造車間環(huán)境中，工人長時間工作時大量VOC的排放對人體的身體造成了巨大的威脅。
1.行業(yè)VOCs排放特點
電子產(chǎn)品制造行業(yè)的VOCs排放濃度較高平均排放濃度在55mg/m3左右，收集或者處理程度比較低。目前存在的難題是：
(1)該行業(yè)的部分生產(chǎn)線變化性較大，而且更換周期不定。
(2)VOC排放濃度在各個工藝之間差異較大，這對VOC集中收集造成了不小的難度，對該行業(yè)VOC排放標準的制定也有很大影響。
2.行業(yè)VOCs治理技術(shù)
目前電子產(chǎn)品制造行業(yè)使用的有機廢氣治理技術(shù)主要包括活性碳吸附法、蓄熱式催化燃燒法。
(1)活性碳吸附法
在電子產(chǎn)品制造行業(yè)的電路板清洗過程中，大量的有機溶劑如異丙醇等在使用過程中揮發(fā)，通過超聲波清洗劑上方局部排風系統(tǒng)收集，目前通常采用固定床活性炭吸附裝置廢氣治理設(shè)備處理后排放?；钚蕴繉俜菢O性吸附劑，對非極性化合物的吸附能力較強，一般用來凈化較低濃度的三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、四氯化碳、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸、乙酯等。
(2)蓄熱式催化燃燒法(RCO)
與蓄熱式燃燒法(RTO)不同，RCO催化燃燒所需的反應溫度更低(一般在500 oC下)，且不會產(chǎn)生NOx等二次污染物。催化燃燒法的關(guān)鍵是催化劑，按催化劑活性組分可分為貴金屬(Pt、Pd、Au等)和過渡金屬金屬氧化物(如Cr2O3、CuO、MnOx等)催化劑，覆蓋于載體表面。催化燃燒一般反應為:CxHy + O2 → CO2 + H2O + 熱量，(碳氫化合物，有害)→(無害)
RCO系統(tǒng)是在一定溫度下廢氣中VOC與催化劑作用發(fā)生催化氧化反應，去除效率可達99 %，采用蓄熱材質(zhì)(如陶瓷)的催化室可大幅減少熱量的損耗。